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伴随着芯片制程工艺的提升，芯片代工商对极紫外光刻机的需求也明显增加，台积电和三星电子就已采购了大量的极紫外光刻机，存储芯片制造商 SK 海力士也已开始采用极紫外光刻机，在未来 5 年也将大力采购，美光科技也已计划在 2024 年开始安装极紫外光刻机。
芯片大厂大量采购极紫外光刻机，也就意味着这一类光刻机的应用比例在未来几年将大幅提升，并逐渐占据主导地位。
而全球目前唯一能制造极紫外光刻机的阿斯麦公司预计，到 2025 年，全球所运行的光刻机中，极紫外光刻机所占的比例将超过 60%。，据国外媒体报道，已顺利量产7nm，5nm芯片制程工艺的台积电和三星电子，已采购了大量的极紫外光刻机，用于为相关的厂商代工芯片。
阿斯麦预计 2025 年极紫外光刻机所占的比例超过 60%，是他们负责营销的一名高管，在有关极紫外光刻机生态系统的一次会议上透露的。。
这名高管透露，他们预计极紫外光刻机所占的比例在未来 5 年将平稳增长，最终在全球半导体市场所应用的光刻机中，占据超过 60% 的份额。
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