与传统的机械传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。在微米量级的特征尺寸MEMS传感器可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。因此，MEMS传感器正逐步取代传统机械传感器的主导地位，在消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等领域得到广泛的应用。
1、行业政策
2021年1月工信部印发《基础电子元器件产业发展行动计划》，指出在传感类元器件发展规划中，重点发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，温度、气体、位移、速度、光电、生化等类别的高端传感器，新型MEMS传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件。到2023年，电子元器件销售总额达到21000亿元。同年9月，工信部等多部门大部《物联网新型基础设施建设三年行动计划》，指出到2023年，在国内主要城市初步建成物联网新型基础设施，社会现代化治理、产业数字化转型和民生消费升级的基础更加稳固；创新能力有所突破——高端传感器、物联网芯片、物联网操作系统、新型短距离通信等技术水平和市场竞争力显著提升。
2、市场规模
根据北京研精毕智信息咨询有限公司的数据显示，2021年我国MEMS传感器市场规模约840亿元，同比增长接近19%。随着设备智能化程度的不断提升，单个设备中搭载的MEMS传感器数量也将逐步增多，市场规模也会随之增长。预计在2023年市场规模将达到900亿元左右。
3、细分市场
MEMS声学传感器是智能手机中渗透率较高的产品，我国3C产品中智能手机的快速发展及更多地使用MEMS传感器将持续带动MEMS传感器声学传感器产品市场的增长。2021年MEMS声学传感器的市场规模约50亿元。
惯性传感器是智能手机、平板电脑等3C产品中应用较为广泛的传感器之一，因此惯性传感器市场对价格的敏感度较高，对产品尺寸的要求极高，尺寸越小的传感器越有竞争力。2021年MEMS惯性传感器市场规模约63亿元。
此外，汽车行业是EMS压力传感器最大的市场，MEMS压力传感器也越来越成为MEMS传感器市场规模最大的细分市场之一，当前MEMS压力传感器市场规模约135亿元。
4、市场结构
从中国MEMS传感器市场结构看，系统集成应用占我国MEMS传感器市场规模的50%以上；设备和材料占比约8%；制造及设计、封装分别为27%、12%。
5、应用结构
从行业应用结构看，我国MEMS传感器市场中，消费电子是行业占比最高的应用领域，占比约60%，其次是汽车电子、工业、医疗、通信，占比分别为19%、11%、6%、4%。
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